深圳清华大学研究院超滑技术研究所(简称 超滑所 )2018年9月在深圳坪山成立,是郑泉水院士及团队在深圳市政府、深圳坪山区政府和深圳清华大学研究院共同支持下创建的结构超滑研究机构,致力于结构超滑技术的基础研究、应用研究以及结构超滑衍生技术集群的开发研究。超滑所全权管理运营的深圳超滑技术平台拥有世界全新的微纳加工设备及能力,使用面积1500 m2,其中洁净实验室面积达1000 m2(百级洁净区130 m2,千级洁净区870 m2),实验设备共计200余台套,包括一条完备的6英寸超滑微纳器件研发线,为结构超滑技术研究及应用开发提供强有力的支撑。超滑所未来5年的主要研究方向聚焦在研发若干基于结构超滑体系的、满足国家重大需求或具有重大市场前景的革命性技术产品,如基于结构超滑的微机电系统(MEMS)、微发电机、电接触关键元器件、光学平台、精密轴承、微纳传感器、超能存储技术等。基础研究方面,超滑所致力于围绕结构超滑技术不断催生出重大源头技术集群,通过 结构超滑+X 构建学界共同体,解决重点科技创新问题。
郑泉水院士长期专注于固体力学和微纳米力学的研究,并在结构超滑(固-固界面近零摩擦、零磨损)和极端疏水(固-液界面极低粘附、极端疏水)领域取得了一系列突破性进展。在这些领域,郑泉水院士曾两次以第一获奖人身份获得国家自然科学二等奖(2004,2017),正在从事的研究在相关领域均获得国际认可。所指导的博士生中有三人获得了全国优秀博士学位论文。