历史沿革：超精密光电仪器工程研究所成立于2002年，其前身是始建于1955年的精密机械仪器专业，是国内最早的精密仪器类专业，该专业于五十年代培养出我国本学科第一批研究生。该研究所是从事超精密测量理论、超精密光机电一体化仪器技术和大型超精密装备技术研究的专业研究所。研究所所在学科为光电信息技术与仪器工程国家重点学科，仪器科学与技术一级重点学科和博士后流动站。
创新研究团队：研究所创新研究团队以学科带头人谭久彬教授为核心，由年富力强的中青年专家群体，富有创造力的博士群体和经验丰富的工程技术人员群体构成。
研究方向：本研究所结合国际光学与光电技术、超精密技术和仪器工程研究的发展趋势，面向国家重大需求，设有三个研究方向：第一是超精密光机电一体化技术与仪器工程；第二是超精密加工/测量一体化技术；第三是超精密激光测量与仪器技术。
代表性成果：研究所紧密围绕上述研究方向开展应用基础研究，关键技术攻关、系统集成和工程应用。近年完成大型科研项目20余项，研发出大型超精密仪器与专用装备5个系列50余套；获国家技术发明奖一等奖1项，国家技术发明奖二等奖2项，国家科技进步奖三等奖1项，部级科技奖一等奖4项；申请中国和国际国家发明专利200余项，已获授权100余项；发表学术论文400余篇，其中SCI、EI和ISTP收录300余篇。
